Please use this identifier to cite or link to this item: https://olympias.lib.uoi.gr/jspui/handle/123456789/16363
Title: Dielectric properties of CVD grown SiON thin films on Si for MOS microelectronic devices
Institution and School/Department of submitter: Πανεπιστήμιο Ιωαννίνων. Σχολή Επιστημών και Τεχνολογιών. Τμήμα Βιολογικών Εφαρμογών και Τεχνολογιών
Keywords: core-level shifts,electronic-properties,silicon,interfaces
URI: https://olympias.lib.uoi.gr/jspui/handle/123456789/16363
ISSN: 0268-1242
Link: <Go to ISI>://000220889200011
http://iopscience.iop.org/0268-1242/19/1/008/pdf/0268-1242_19_1_008.pdf
Appears in Collections:Άρθρα σε επιστημονικά περιοδικά ( Ανοικτά)

Files in This Item:
File Description SizeFormat 
Konofaos-2004-Dielectric propertie.pdf126.58 kBAdobe PDFView/Open    Request a copy


This item is licensed under a Creative Commons License Creative Commons